Id-djamant isir materjal ideali għall-preparazzjoni ta 'substrati tas-semikondutturi

Bl-iżvilupp ta 'integrazzjoni u minjaturizzazzjoni ta' apparat elettroniku semikondutturi, il-konduttività termali u elettrika eċċellenti ta 'Diamond saret materjal ideali għall-preparazzjoni ta' substrati tas-semikondutturi. Sabiex tissodisfa r-rekwiżiti tal-industrija tas-semikondutturi għal prestazzjoni ta 'preċiżjoni għolja u affidabilità għolja ta' apparat elettroniku, huwa meħtieġ li lustrar il-wiċċ tad-djamant. Madankollu, l-ebusija għolja, ir-reżistenza għolja għall-ilbies, u l-inertità kimika għolja tad-djamanti jagħmlu l-ipproċessar tad-djamanti jiffaċċjaw ħafna diffikultajiet. It-teknoloġiji eżistenti tal-illustrar tad-djamanti għandhom il-vantaġġi u l-iżvantaġġi tagħhom stess, u hemm bżonn urġenti għal teknoloġija tal-illustrar tal-wiċċ tad-djamanti li tista 'tikseb intoppi, flatness, u ħsara baxxa filwaqt li tiżgura l-effiċjenza. Għalhekk, dan l-artikolu jirrevedi l-letteratura rilevanti dwar it-teknoloġija tal-illustrar tad-djamanti fid-dar u barra, jiġbor fil-qosor il-prinċipji u l-vantaġġi u l-iżvantaġġi ta 'llustrar mekkaniku, illustrar termokimiku, illustrar mekkaniku kimiku, illustrar tal-inċiżjoni fil-plażma, llustrar bil-lejla, illustrar bil-lejla u teknoloġiji oħra. Għal teknoloġija futura tal-illustrar tad-djamanti, għandha tiżviluppa lejn il-kombinazzjoni ta 'teknoloġiji multipli u d-direzzjoni ta' intelliġenza, preċiżjoni u protezzjoni ambjentali, u b'hekk tespandi l-ambitu tal-applikazzjoni tal-materjali tad-djamanti.

 

Fi snin reċenti, bl-iżvilupp mgħaġġel ta '5G u intelliġenza artifiċjali, il-komponenti elettroniċi interni tagħhom kienu dejjem aktar miexja lejn preċiżjoni, integrazzjoni u minjaturizzazzjoni. L-apparati elettroniċi qed jonqsu kontinwament, u l-akkumulazzjoni tas-sħana ġġenerata waqt it-tħaddim taċ-ċirkwit tista 'taffettwa l-operat ta' apparat elettroniku u saħansitra tikkawża ħsara. Kif issolvi l-problemi ta 'dissipazzjoni tas-sħana tagħhom u tiżgura li t-tħaddim stabbli tas-sistema qed isir dejjem aktar importanti. Fit-temperatura tal-kamra, Diamond għandu konduttività termali akbar minn 2000 wm -1 k -1, proprjetajiet dielettriċi eċċellenti, u koeffiċjent baxx ta 'espansjoni termali (kif muri fit-Tabella 1), li jagħmilha materjal ta' dissipazzjoni tas-sħana ideali għall-manifattura ta 'apparati semikondutturi. Madankollu, minħabba l-ħxuna irregolari, orjentazzjoni tal-kristall każwali, u wiċċ mhux maħdum bi stress intern għoli li spiss iseħħ matul il-proċess ta 'tkabbir tad-djamant, kif ukoll l-ebusija għolja, ir-reżistenza għall-ilbies, u l-inertità kimika ta' materjali tad-djamanti, l-ipproċessar tad-djamanti huwa estremament diffiċli. Għalhekk, tekniki u tagħmir tal-illustrar relatati mad-djamanti dejjem kienu fokus ta 'attenzjoni kemm fl-akkademja kif ukoll fl-industrija.

 

Ġew żviluppati diversi tekniki tal-illustrar biex jissodisfaw ir-rekwiżiti ta 'uċuħ tad-djamanti lixxi, ċatti u baxxi. Il-metodi użati komunement jinkludu llustrar mekkaniku (MP), illustrar termokimiku (TCP), illustrar mekkaniku kimiku (CMP), illustrar tal-inċiżjoni fil-plażma (PEP), illustrar bil-lejżer (LP), eċċ. Madankollu, kull wieħed mill-metodi ta 'hawn fuq għandu l-limitazzjonijiet tiegħu stess, u bħalissa m'hemm l-ebda teknoloġija tal-lustrar li simultanjament tista' tinkiseb effiċjenza għolja u kwalità għolja tal-wiċċ, li hija problema ta 'urġenza.

Għalhekk, abbażi tat-teknoloġija attwali tal-illustrar tad-djamanti, li tibda mit-tagħmir, il-prinċipji, l-effiċjenza tal-illustrar, il-kwalità tal-wiċċ u aspetti oħra ta 'kull teknoloġija tal-illustrar, il-vantaġġi u l-iżvantaġġi ta' diversi teknoloġiji tal-illustrar huma mqassra, u d-direzzjoni futura ta 'żvilupp tat-teknoloġija tal-illustrar tas-substrat tas-semikondutturi tad-djamanti hija diskussa.